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晶圆高低温测试

简要描述:晶圆高低温测试采用超高温降温技术,可以满足在最高350℃高温直接通入冷却水实现快速降温,冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。

  • 产品型号:PTXF
  • 产品产地:上海
  • 更新时间:2022-12-10
  • 访  问  量:325

详细介绍

PTXF系列高温循环器主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成控制系统采用PID控制技术,高清显示屏,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的加热冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。

 设备特点

全密闭系统:采用全密闭式系统设计,整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔,导热油不会直接与空气接触,延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性,膨胀油箱始终保持在常温状态,高温时无油雾产生。

高效换热系统:系统采用管道式加热冷却,参与循环的液体非常少,制冷采用板式换热器,加热采用管道式法兰加热器,整个系统的容积(板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积)     

控制结果重复性:基于高级动态控制系统,同时采用进口铂电阻温度传感器,每次都能实现一致的控制结果,大大提升产品生产的稳定性。

产品外观:外观设计吸取国外进口产品的设计理念,采用大口径石英玻璃液位计,液位计与操作屏放在同一侧,观察方便,风格简约时尚,比列协调,专有的色彩搭配。

超高温降温技术:采用超高温降温技术,可以满足在最高350高温直接通入冷却水实现快速降温。

质量保障:所有的关键部件均选用进口品牌,确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验,确保设备到客户现场不会出现任何问题。

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