SMART系列产品是专门为实验室应用开发的一款小型高低温动态控温系统。功能与PTHC系列相同,可实现物料温度控制、夹套温度控制。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。适用于需要快速加热和降温的外部应用,对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制,材料测试,尤其适合在反应过程中有吸热、放热过程控制。
TLS精密冷水机:使用温度范围:5~85℃,配有加热器,属于制冷加热一体机。型号按加热功率命名,加热功率在1.5~25kW之间。精密冷水机可以满足精确控温的需求,也可以根据客户要求选配流量计和压力传感器。本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。
Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品,可实现对设备出口温度的精准控制,控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域,激光、医疗和精密实验室温控方案。产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品,可实现对设备出口温度的精准控制,控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域,激光、医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机,磁力耦合泵,电子膨胀阀节流装置,西门子控制器,压缩机,产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却,也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的,也可以是高温的,经过气体制冷机降至目标低温。针对于晶圆测试载冷台的应用来说,气体制冷机相比较于传统的液冷有诸多优势,如使用方便、安全卫生、成本低、无异味等。控制器可选配物联网功能,可在手机APP上进行远程查看数据、报警信息和远程操控。客户可根据气体处理流量及温度来选择设备,若样册无对应型号可联系本公司销售人员进行咨询。
主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷。循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。
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