晶圆测试用温控设备

简要描述：晶圆生产完成后，需要对其进行各种参数的检测，在检测的过程中，需要在不同温度下进行测试，晶圆测试用温控设备（晶圆测试温控系统）是高精度，高分辨率，高稳定性的控制设备。

产品型号：PTXH
产品产地：上海
更新时间：2025-06-26
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详细介绍

　　晶圆生产完成后，需要对其进行各种参数的检测，在检测的过程中，需要在不同温度下进行测试。本实用新型属于半导体测试技术领域。晶圆测试用温控设备（晶圆测试温控系统）是高精度，高分辨率，高稳定性的控制设备，操作简单，可非标定制。
　　控温系统：自主开发的温度控制模块，改变控制设定的方法，能够尽快的响应过程中系统的滞后，得到最小温度过冲。控制由两组PID（每组PID是可变的）控制回路构成，这两组控制回路成为主回路和从回路，主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈PV，主控回路的PID运行结果的输出与前馈PV信号复合后作为主控回路的设定值，通过这样对温度变化进行梯度控制，保证系统的温度精度。
　　高效换热系统：系统采用管道式加热冷却，参与循环的液体非常少，制冷采用板式换热器，，换热效率高、结构紧凑，加热采用管道式法兰加热器，整个系统的容积（板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积）。
　　控制重复性：基于高级动态控制系统，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。
　　产品外观：外观设计吸取国外进口产品的设计理念，采用大口径石英玻璃液位计，液位计与操作屏放在同一侧，观察方便，风格简约时尚，比列协调，专有的色彩搭配。
　　超高温降温技术：采用超高温降温技术，可以满足在300℃高温直接开启压缩机制冷降温。
　　质量保障：所有的关键部件均选用进口品牌，确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验，确保设备到客户现场不会出现任何问题。
　　了解温控设备设备晶圆高低温系统、半导体温控系统、探针台高低温设备、载物台控温系统、载物台高低温系统选普泰克。

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